塗布液循環システム

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循環系統に熱交換器を付属して、液温管理も可能です。

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■循環装置A

塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。

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■循環装置B

塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。

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