本装置は、耐薬品性を考慮した、複数のガラスや金属を複数枚同時にコートが行えるディップコーター(塗布装置)です。接液部には、PTFE材を使用し、PTFEコート、静電気対策を施工。循環機構部の交換が可能で、複数の循環機構部を用意する事で異なるコート液をディップコートすることが可能なディップコーティングシステムです。
主 仕 様 | |
ストローク | 300mm |
対象サイズ | W100xH100mm 複数枚同時処理 |
対象材質 | ガラス、ウエハー、金属等 |
ディップ速度 | 0.01mm/secから100mm/sec |
塗布液循環部 | 有 |
塗布液温度管理 | 無 |
フィルターメッシュ | 有 |
乾燥部 | 無 |
乾燥温度 | 無 |
ヘパユニット | 無 |
装置サイズ(概寸) | W:700xD:550xH:1450mm |