本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
主 仕 様 | |
ストローク | 250mm |
対象サイズ | 6inch、8inch |
対象材質 | ウエハー |
ディップ速度 | 0.1mm/secから10mm/sec |
塗布液循環部 | 有 |
塗布液温度管理 | 無 |
フィルターメッシュ | 0.05μm |
乾燥部 | 無 |
乾燥温度 | 無 |
ヘパユニット | 有 |
装置サイズ(概寸) | W:904xD:840xH:1070mm |