媒体塗布装置【DT-1104】

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dt1104
本装置は、ディスクやウエハーに、塗布液のフィルタリング循環機構を備えたディップコーティング装置です。冶具を使用して一度に大量のディスクをディップコート(ディップコーティング)できます。また、少量のディップコート液のテストができるサブタンクを併設しています。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター装置です。


主 仕 様
ストローク 219mm
対象サイズ 1.8、2.5、3.5inchディスク
対象材質 ディスク&ウエハー
ディップ速度 1μm/sec~40mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ 0.05μm
乾燥部
乾燥温度
ヘパユニット
装置サイズ(概寸) W:1404×D:900×H:1940mm
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