コーティング液の循環機構部(フィルター、ポンプ等)全部を簡単に入替えできるディップコーターシステムです。複数の異なるコーティング液を、循環機構をそのままにして入替え可能です。入替え部は何台でも追加可能です。

主 仕 様 | |
ストローク | 500mm |
対象サイズ | 500mm |
対象材質 | ウエハー、金属、ガラス、繊維等 |
ディップ速度 | 0.1mm/secから60mm/sec |
塗布液循環部 | 有 |
塗布液温度管理 | 無 |
フィルターメッシュ | 有 |
乾燥部 | 無 |
乾燥温度 | 無 |
ヘパユニット | 無 |
装置サイズ(概寸) | W:810×D:750×H:1760mm |