ディップコート液循環機構交換型装置【DT-1404-S1】

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コーティング液の循環機構部(フィルター、ポンプ等)全部を簡単に入替えできるディップコーターシステムです。複数の異なるコーティング液を、循環機構をそのままにして入替え可能です。入替え部は何台でも追加可能です。


dt1404s1


主 仕 様
ストローク 500mm
対象サイズ 500mm
対象材質 ウエハー、金属、ガラス、繊維等
ディップ速度 0.1mm/secから60mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ
乾燥部
乾燥温度
ヘパユニット
装置サイズ(概寸) W:810×D:750×H:1760mm
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