離型剤塗布装置特集

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ナノインコーター®の紹介

ナノインプリントリソグラフィー(NIL)は、凹凸のパターンを形成した石英や金属のモールドを、基板上の液状ポリマーなどへ押し付け、パターンを
転写するものです。最近はLSIの量産で注目されています。その最大の利点は、高解像度、寸法制御性、低コストなどです。
一般的な工程は下記のとおりになります。

nil
モールドと液状ポリマーとの離型剤として、一般的にフッソ系コート液が利用されるケースが多く、コスト面からも最小のコート液で効率よく
塗布する方法が要求されます。
SDIでは、長年のディップコーター製造で蓄積されたノウハウを生かし、ナノインプリント用の離型剤塗布装置を開発し、ナノインコーターと
命名しています。

離型剤塗布装置(ナノインコーター)は、超極細の凹凸がある金型にナノメートルオーダーの薄膜を塗布することができます。
ナノインプリント用金型の離型剤処理に必要な各工程【洗浄、塗布、定着、リンス、乾燥】を1台で自動処理することができ、再現性UPや高効率化、離型剤コストの削減に貢献します。

『離型剤塗布装置、ナノインコーター』の 特長
 1. ナノインプリント用金型の離型剤処理に必要な各工程【洗浄、塗布、定着、リンス、乾燥】を1台で自動処理することができます。
 2. モールドの素材・形状(ガラスやシリコン、石英、ニッケル電鋳等)を問わず、最適仕様にカスタマイズします。
 3. ウェハー型モールドの他、ロール型モールドや研究用に便利な卓上型をラインナップしております。
 4. 品番により防錆やアルミ対応しておりますので、鉄製やアルミを母材とした治具にもご使用できます。
 5. ナノインプリント用離型剤も取り扱っておりますので、モールドの離型に関してトータルで提案いたします

株式会社SDI社製「離型剤塗布装置(ナノインコーター®)」の御紹介

当社は長年にわたるディップコーター(ディップコート装置)の専門メーカーとして、薄膜塗布技術をお客様に提供して参りました。
ディップコート法の特徴のひとつとして、塗布液を無駄なく塗布するということがあります。
当社ではその特徴を生かし、高価な離型剤を少量且つ効率よく塗布するディップコーターを開発し、ナノインコーター®として販売しております。
当社の離型剤塗布装置(ナノインコーター®)は、主にナノインモールドへの離型剤塗布(ディップコート)となります。
微細なナノインモールドへの離型剤塗布は、クリーンな環境下でのディップコートが必要です。
当社では、そのクリーン環境下での離型剤のディップコートだけではなく、リンス、乾燥、離型剤の循環(フィルタリング)も含めた自動搬送での
離型剤塗布装置のご提案、販売もしております。
カスタマイズにも対応致しますので、どうぞお気軽にご相談お待ちしております。

■ 離型剤塗布装置(ナノインコーター®)

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